Gasfilter, FG Serie, Wafergard® SG

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Wafergard®
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Gasfilter, FG Serie, Wafergard® SG
Filter Gasfilter
Die Gasfilter der Wafergard® SG FG-Serie bieten eine hervorragende Partikelfiltration, um die Produktionsausbeute bei der Herstellung von Photovoltaikzellen und Displays zu maximieren.

  • Kompatibel mit hochreinen Gasen, einschließlich N₂, CDA, H₂, SiH₄ und NF₃
  • Hervorragende nachfolgende Sauberkeit mit einer Rückhalterate von 9 LRV bei Nenndurchfluss

Filterelement: Hydrophobe PTFE-Membran, verstärkt durch geformtes PTFE, PFA-Struktur und PFA-O-Ring; Gehäuse: elektropolierter Edelstahl 316 L

Maximaler vorwärtiger Differenzdruck: 4,14 bar bei 23 °C

Maximaler rückwärtiger Differenzdruck: 0,69 bar bei 23 °C
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