Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Micro

Lieferant: ENTEGRIS INC
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Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Micro
Filter Gasfilter
Da sie sowohl für inerte als auch für reaktive Gase empfohlen werden, bieten diese Filter eine hervorragende Kompatibilität mit allen Klassen von Halbleiter-Prozessgasen. Ihr kompakter Durchmesser ermöglicht eine einfache Installation in engen Gasverteilern und -kabinetten.

  • Höchste Partikelfiltration für ultrareine Gasfiltrationssysteme
  • Geringer Druckabfall verringert das Risiko der Kondensation in Gasen mit niedrigem Dampfdruck
  • Im Reinraum hergestellt, geschweißt und getestet
  • PTFE-Membranen bieten hochgradig effiziente Filtration

Filterelement: Hydrophobe PTFE-Membran unterstützt durch gegossene PTFE-PFA-Struktur; Gehäuse: elektropolierter 316L-Edelstahl

Anwendungen: Ozonanwendungen (Gas), Gaskabinette, Reinstgassysteme, Gasverteiler, Prozesswerkzeuge für den Innenbereich.

Downstream-Reinheit für Partikel: Weniger als 0,03 Partikel/Liter (<1 Partikel/0,028 m³) größer als 0,01 μm

Downstream-Reinheit für flüchtige Substanzen: <10 ppb Feuchtigkeit
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