Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Mini XL

Lieferant: ENTEGRIS
WG2F02PS1 WG2F02RR4 WG2F02RR2 WG2F32PS1 WG2F02JJ2 WG2F02JJ4
ENTEWG2F02PS1EA 0 EUR
ENTEWG2F02PS1 ENTEWG2F02RR4 ENTEWG2F02RR2 ENTEWG2F32PS1 ENTEWG2F02JJ2 ENTEWG2F02JJ4
Inline-Gasfilter, Wafergard® II F Mini XL
Filter Gasfilter
Da sie sowohl für inerte als auch für reaktive Gase empfohlen werden, bieten diese Filter eine hervorragende Kompatibilität mit allen Klassen von Halbleiter-Prozessgasen. Sie können sie in Gasverteilern und Gaskabinetten verwenden, wo Reinstgas für die Waferverarbeitung erforderlich ist.

  • Höchste Partikelfiltration für ultrareine Gasfiltrationssysteme
  • Geringer Druckabfall verringert das Risiko der Kondensation in Gasen mit niedrigem Dampfdruck
  • Im Reinraum hergestellt, geschweißt und getestet
  • PTFE-Membranen bieten hochgradig effiziente Filtration

Filterelement: Hydrophobe PTFE-Membran unterstützt durch gegossene PTFE-PFA-Struktur; Gehäuse: elektropolierter 316L-Edelstahl

Anwendungen: Ozonanwendungen (Gas), Gaskabinette, Reinstgassysteme, Gasverteiler, Ventilboxen.

Downstream-Reinheit für Partikel: Weniger als 0,03 Partikel/Liter (<1 Partikel/0,028 m³) größer als 0,01 μm

Downstream-Reinheit für flüchtige Substanzen: <10 ppb Feuchtigkeit
Bestellen

Learn more

About VWR

Avantor is a vertically integrated, global supplier of discovery-to-delivery solutions for...

Mehr About VWR