Aufreinigung

Gasaufreinigung
Anorganische regenerierbare Medien zur Aufreinigung von Gas bei Umgebungstemperaturen bis in den ppt-Bereich (parts per trillion) Die innovativen Produkte und Technologien von Entegris zur Kontrolle von Gasmikroverunreinigungen gewährleisten, dass unsere Kunden mit den neuesten Technologien ausgestattet und auf künftige Herausforderungen in den Bereichen hochentwickelter Bauteile, Photovoltaik, Biowissenschaften und Lithiumionen-Akkus vorbereitet sind.

Flüssigkeitsaufreinigung
Entfernung von Metallionen-Kontaminanten Die Technologien zur Flüssigkeitsaufreinigung von Entegris bieten ultimativen Schutz vor Metallionen-Kontaminationen durch die leistungsstarke Entfernung von Metallionen aus Reinstwasser und einigen organischen Lösungsmitteln in einem einzigen Durchlauf. Ideal für kritische Reinigungsanwendungen, wie das Spülen von entionisiertem Wasser bei der Rückführung und Einmal-Prozess-Tools, Wafer-Trockenreinigung und Post-CMP-Reinigung.