Wafer-/Reticle-Handling

200-mm-Wafer Handling

Große Auswahl an Produkten und Dienstleistungen für die Anforderungen der Automatisierung, Kontamination und Produktivität der heutigen 200-mm-Fabs.

150-mm-Wafer Handling

Zur Unterstützung der anspruchsvollen Handhabung von 150-mm-Wafern in der Halbleiterindustrie, bietet Entegris eine Vielzahl von Lösungen für den Versand und für den sicheren Transport von Silikon-Wafern in den heutigen 150-mm-Fabs.

125 mm Wafer Handling

Breites Angebot an 125 mm und kleineren Wafer Handling Produkten für den sicheren Transport und Schutz von Silikon-Wafern.

Solar-/LCD-Carriers, andere Tragebehälter und Laborgeräte

Vielzahl von Carriers, Körben, Griffen und Laborartikeln für viele Anforderungen von Silikon-Wafern.

Mask and Reticle Handling

Vielzahl von Produkten für die Handhabung von Masks und Reticles in verschiedenen Größen.

Reticle-Smif-Boxen

Es wurde eine Reihe von Reticle-Smif-Boxen entwickelt, um wertvolle Lithographie-Reticle zu schützen, zu lagern und zu transportieren. Reticle-Boxen von Entegris bieten den Benutzern die Vorteile einer kostengünstigen Bauweise, kombiniert mit einem extrem hohen Schutz vor Kontamination.